ヘリウム回収、充填、混合装置　

＃EV用電池向けリーク

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充填圧力	0.1Mpa～5Mpa
He回収率	80%～95%
He混合率	10%～99％
設備寸法	L1500＊2000＊2200
その他	自動ヘリウム混合システム ヘリウム濃度監視充填配管且つリアルタイム